當今是以半導體技術為核（hé）心的信息時代，半導體在生產的（de）過程中將會產生（shēng）大量的（de）有毒有害氣（qì）體、有機和無機物等，那電子半導體的廢氣應該（gāi）怎麽處理呢？


電子半導體行業在生產時會使用顯影劑、光刻膠、清潔劑、蝕刻液等溶劑，而這些（xiē）溶劑是含（hán）有大量的有機物成分。


工業上的有機廢氣處理常用的工藝有:活性炭吸附處理法、酸堿中和法、等離子（zǐ）法、蓄熱（rè）式熱氧化（huà）法、催化燃燒法、吸收法（fǎ）、冷凝法等。


目（mù）前，電子半導體行業的廢（fèi）氣一般采用蓄（xù）熱式熱氧化法（RTO）的廢氣處理方法，對於複雜（zá）廢氣的處理，多選擇配（pèi）套組合方式來處（chù）理。例（lì）如“”沸石濃縮裝（zhuāng）置+蓄熱式熱氧化（RTO）”。


關於蓄熱式熱氧（yǎng）化（RTO）三塔式廢氣處（chù）理（lǐ）(治理)裝置

產品概（gài）述


蓄熱式熱力焚燒爐（RTO），是一種高效有機廢氣治理設備。與傳（chuán）統的催化燃燒、直（zhí）燃（rán）式熱氧化爐（TO）相比，具有熱效率（lǜ）高（≥95%）、運行成本低、能處理大風量中低濃度廢氣等特點，濃度稍高時，還可進行二（èr）次餘熱回收，大大降（jiàng）低生產運營（yíng）成本。


運作原理


RTO (Regenerative Thermal Oxidizer,簡稱RTO),蓄熱式氧化爐。其原理是（shì）在高溫（wēn）下將廢氣中的有機物（VOCs)氧化成對（duì）應的二氧化碳（tàn）和水，從而淨化（huà）廢（fèi）氣，並回收廢氣分解時所釋放出來的熱量，三（sān）室（shì）RTO廢氣分解效率達到99%以上，熱回收效率達到95%以上。根據客（kè）戶實際需求，選擇不同（tóng）的熱能（néng）回收方式和切換閥方式。


其原理是可燃有機廢（fèi）氣在攝氏760～1000度發生熱氧化反應，生成二氧化碳和水等。廢氣首先通過蓄熱體加熱到接近熱氧化溫度，而後進入燃燒室進行熱（rè）氧化（huà），氧化後的氣體溫度升高，有機物基本轉化成二（èr）氧化碳和水。淨化後的氣體，經過另一蓄熱體，溫度下降，達到排放（fàng）標準後進行排放。


RTO裝置中的（de）蓄熱式陶瓷填充（chōng）床換熱器可最大限度（dù）回收熱能，熱回收率大於95%，處理（lǐ）VOCs時（shí）不用或使用很少的燃料。若處理低濃（nóng）度廢氣，可選裝濃縮（suō）裝置，以降低燃料消耗。


根據客戶需求，可設（shè）計兩室、三室、多室或單室旋轉式RTO裝置。


工（gōng）藝特點


1. 對工況要（yào）求低，廢氣中可以含有多種有（yǒu）機成分，處理風量（liàng）範（fàn）圍（wéi）大： 1,000～300,000Nm³/h；


2. 淨化率高，兩床式RTO淨化率在95%以上，三床式RTO淨（jìng）化率在（zài） 99%以（yǐ）上；


3. 全自動控製，操作簡單；操作費用低（dī）；


4. 運行費用低，當VOC濃度達到400ppm時，不需要額外的（de）燃料消耗。  


應用行業


1.汽車、造船、摩托車、自行車（chē）、家用電器、汽修、輪胎等行業噴（pēn）漆（qī）塗裝車間產生的有機廢氣；


2.化工（gōng）、製藥（yào）、半導體製造、LCD製造、製鞋粘膠、印鐵製罐、塑料注（zhù）塑、油墨廢氣、印刷廠、電纜及漆包線等製造過（guò）程排放的有機（jī）廢氣（qì）。


3. 使用有機廢氣種類：烷烴、烯烴、醇類、酮類、醚類、酯類（lèi）、芳烴、苯類等（děng）碳氫（qīng）化合物有機廢氣。


4. 有機物低濃度(同時滿足低於25%LFL)、大風量


5. 廢氣（qì）中含有多種有機成分、或有機成分經常發生變（biàn）化


6.  含有容易使催化劑中毒或（huò）活性衰退成分的廢氣  

產品的優勢


●幾乎（hū）可以處（chù）理所有含有機化合物的廢氣（qì）

●可以處理（lǐ）風量大、濃度低的有機廢氣

●處理有機廢氣流量的彈性很（hěn）大（名義流量20%~120%）

●可以適應有機（jī）廢氣（qì）中VOC的組（zǔ）成（chéng）和濃度的變化、波動

●對廢氣中（zhōng）夾帶少量（liàng）灰塵、固體顆粒不敏感

●在所有熱力燃燒淨（jìng）化法中熱效率最高（>95%）

●在合適（shì）的廢氣濃度條件下無需添加輔助燃料而實現自供熱操作

●淨化效率高（三室>99%）

●維護工作量少、操作安全可靠